TETA飛秒激光器測試及微加工應用
TETA屬于固體摻鐿再生飛秒放大器。該系統包括一個(gè)作為種子振蕩器的內置光纖激光器,光纖脈沖展寬器,法拉第隔離器,基于CPA二極管泵浦的再生放大器和附加脈沖選擇器和脈沖壓縮器等。所有組件都集成在單一恒溫箱以確保操作的穩定性和靈活性。附加內置普克爾盒控制激光輸出模式和重復頻率。此外,該控制單元能夠精確控制脈沖觸發(fā)數和脈沖周期。TETA系統可配備額外二次諧波(SH)和FH(四次諧波)產(chǎn)生裝置以及脈沖壓縮器,該壓縮器能夠有效壓縮脈沖寬度(<30fs)同時(shí)保持>50%能量轉換效率。
TETA激光系統是可靠、靈活飛秒激光光源,在微加工系統、太赫茲成像、OPA泵浦、遙感和超快光譜等領(lǐng)域有著(zhù)廣泛應用。
+ 整機剛性設計
+ 緊湊一體設計
+ 單脈沖能量>200μJ
+ 脈沖寬度< 300 fs
+ 高光束質(zhì)量
+ 優(yōu)異的長(cháng)期穩定性
TETA-200/6 激光頭、控制器及尺寸
TETA-200/6 光路圖
TETA-200/6 實(shí)測數據(S/N16016,18.Nov.2016)
*- Spectra-Physics Spirit: max 40 uJ; Coherent Monaco: max 30 uJ, Amplitude Systemes Satsuma/Yuja: >20 uJ/>100 uJ;
**- Spectra-Physics Spirit: <400 fs; Coherent Monaco: <400 fs, Amplitude Systemes S-Pulse/Satsuma/Yuja: <400 fs/<500 fs;
*** Spectra-Physics Spirit: pre-pulse對比度: >250:1, post-pulse: 無(wú)數據
測試數據2:功率穩定性
平均功率穩定性曲線(xiàn)圖, 6.22 W @ 200 kHz
>18小時(shí)連續工作,11.44/6226 = 0.18% RMS
測試數據3:6.22 W@ 200 kHz
6.22 W @ 200 kHz 再生放大脈沖重復頻率;
脈寬: ~264 fs
M^2:1.07(single-shot—200 kHz整個(gè)重頻范圍,頻率可調)
測試數據4:5.91 W @ 50 kHz RA PRR
脈寬:~258 fs,
M^2: 1.08 (single-shot—50 kHz整個(gè)重頻范圍,頻率可調)
測試數據5:5.85 W @ 25 kHz RA PRR
脈寬:~258 fs,
M^2: 1.07 (single-shot—25 kHz整個(gè)重頻范圍,頻率可調)
0.27 W, 1 kHz RA frequency; 脈寬 245 fs, M^2 1.07
測試數據6:6.07 W @ 1 MHz RA PRR (TETA-200/6 S/N16018-M)
脈寬:~266fs,
M^2: 1.1 (single-shot—1000kHz整個(gè)重頻范圍,頻率可調)
TETA軟件界面
特性:
+ 系統啟動(dòng)/停止控制
+ 快門(mén)打開(kāi)/關(guān)閉
+ 內部觸發(fā)模式和設置
+ 外部觸發(fā)模式和設置
+ 同步脈沖輸出設置
+ 預設
+ 系統狀態(tài)和診斷
輸出控制模式output gating mode
TETA飛秒微加工應用實(shí)例1:Ti鈦鉆孔
型號:TETA-200
材料:Titanium alloy鈦合金
厚度:2.5mm
TETA飛秒微加工應用實(shí)例2:藍寶石鉆孔
型號:TETA-200
材料:sapphire藍寶石
厚度:440um
TETA飛秒微加工應用實(shí)例3:鐵和鈦切割